真空熱處理工藝
·真空淬火·
真空淬火有表面真空淬火和整體真空淬火。其中表面真空淬火因為變形、氧化及脫碳較小而應用較廣，而且表面真空淬火還具有外部強度高、耐磨性好，而內部保持良好的韌性、抗沖擊力強的優點。為提高表面真空淬火零件的機械性能，常需進行調質或正火等真空熱處理作為預備真空熱處理。其一般工藝路線為：下料→鍛造→正火（真空退火）→粗加工→調質→半精加工→表面真空淬火→精加工。
·真空滲碳淬火·
真空滲碳淬火適用于低碳鋼和低合金鋼，先提高零件表層的含碳量，經真空淬火后使表層獲得高的硬度，而心部仍保持一定的強度和較高的韌性和塑性。滲碳分整體滲碳和局部滲碳。局部滲碳時對不滲碳部分要采取防滲措施（鍍銅或鍍防滲材料）。由于滲碳真空淬火變形大，且滲碳深度一般在0.5~2mm之間，所以滲碳工序一般安排在半精加工和精加工之間。
其工藝路線一般為：下料→鍛造→正火→粗、半精加工→真空滲碳淬火→精加工。當局部滲碳零件的不滲碳部分采用加大余量后，切除多余的滲碳層的工藝方案時，切除多余滲碳層的工序應安排在滲碳后，真空淬火前進行。
·真空滲氮 ·
滲氮是使氮原子滲入金屬表面獲得一層含氮化合物的處理方法。滲氮層可以提高零件表面的硬度、耐磨性、疲勞強度和抗蝕性。由于滲氮處理溫度較低、變形小、且滲氮層較薄（一般不超過0.6~0.7mm），滲氮工序應盡量靠后安排，為減小滲氮時的變形，在切削后一般需進行消除應力的高溫真空回火。
